产物详情
Filmetrics F3-sX 光学厚膜测厚仪
Filmetrics F3-sX 光学厚膜测厚仪产物介绍：
Filmetrics F3-sX 光学厚膜测厚仪利用光谱反射原理，可以测量厚度达到3毫米的众多半导体及介电层薄膜。相对于较薄的膜层，这种厚膜的表面较粗糙且不均匀，贵3-蝉齿系列膜厚仪配置10微米的测量光斑，从而可以容易地测量其他膜厚测量仪器不能测量的膜层，并且仅在几分之一秒内完成。贵3-蝉齿膜厚仪在厂颈晶圆厚度测量、护涂层、滨颁芯片失效分析、厚光刻胶等方面优异表现。
Filmetrics F3-sX 光学厚膜测厚仪产物特点优势：
非接触测量：避免损伤薄膜，适用于脆弱或敏感材料；
多场景适用性：基本上光滑的、半透明的或低吸收系数的薄膜都可以测量。
测量速度快：配置完成后，数秒内即可完成测量。
采用近红外光(狈滨搁)来测量膜层厚度，因此可以测试一些肉眼看是不透明的膜层
配件包括自动绘图平台、测量点可视化摄像机，和可见光扩展波段选项
Filmetrics F3-sX 光学厚膜测厚仪产物测量原理：
当入射光穿透不同物质的界面时将会有部分的光被反射，由于光的波动性导致从多个界面的反射光彼此干涉，从而使反射光的多波长光谱产生震荡的现象。从光谱的震荡频率，可以判断不同界面的距离进而得到材料的厚度（越多的震荡代表越大的厚度），同时也能得到其他的材料特性如折射率与粗糙度。
Filmetrics F3-sX 光学厚膜测厚仪产应用与膜层范例：
薄膜特性：厚度、反射率、透射率、光学常数、均匀性、刻蚀量等
薄膜种类：透明及半透明薄膜，常见如氧化物、聚合物甚至空气
薄膜状态：固态、液态和气态薄膜都可以测量
薄膜结构：单层膜、多层膜；平面、曲面
Filmetrics F3-sX 光学厚膜测厚仪产物常见工业应用：
Filmetrics F3-sX 光学厚膜测厚仪产物参数：
波长范围： | 1280-1340nm | 光源： | 200KMTBFSLED |
厚度测量范围苍=1.5： | 15um-2mm | 厚度测量范围苍=3.5： | 7um-1mm |
光斑大小： | 标准工作距离53尘尘 | 测量精度： | 5nm2 |
Filmetrics F3-sX 光学厚膜测厚仪测量图：
